便攜式四探針電阻率測試儀 便攜式四探針電阻率檢測儀
型號:DL04-KDY-1A
概述
便攜式電阻測度儀是用來測量硅晶塊、晶片電阻率及擴散層、外延層、ITO導電箔膜、導電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導體材料電阻率的及國家標準測試方法有關規(guī)定設計。
它主要由電器測量部份(主機)及四探頭組成,需要時可加配測試架。
為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測量電流及阻率。樣品測試電流由高精寬的恒流源提供,隨時可進行校準,以確保電阻率測量的準確度。因此本儀器不僅可以用來分先材料也可以用來作產品檢測。對1~100Ω•cm標準樣片的測量瓿差不超過±3%,在此范圍內達到國家標準一級機的水平。
測量范圍:
可測量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可測方塊電阻:0.1~1999Ω/口
當被測材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔
10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調
10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
適合測量各種厚度的硅片
(3) 直流數(shù)字電壓表
測量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv
準確度:0.2%(±2個字)
(4) 供電電源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用環(huán)境:
相對濕度≤80%
(6) 重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)
(7)KD探針頭
壓痕直徑:30/50μm
間距:1.00mm
探針合力:8±1N
針材:TC
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